主动隔震平台

主动隔震平台

产品介绍

隔振平台是最新推出的一款新型主动隔振平台,由隔振支架和主动隔振系统组成。其中主动隔振系统的精密金属弹簧支架实现被动隔振,洛伦兹电机实现主动隔振。最低固有频率可以达到0.7hz,平台提供六自由发言,高精度,待地基反馈的隔振。相比传统主动隔振方案,本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制,在50HZ频率环境范围内使用能达到最佳的隔振效果。

平台在运行过程中不需要使用空压机,安装方便,即插即用。能适应地基调节前馈,实现6自由度减震,具有极佳的减震性能。

技术指标:

▇ 6个自由度

▇ 最低隔振频率处传递率:<0dB

▇ 作动器推率常数:80N/Apm

▇ 最大功率:1Kw

 系统减震测试介绍:

主动隔振系统由洛伦兹电机,速度传感器以及控制器集成一套完整的闭环伺服控制系统,在0.7-50HZ内实现主动减震。超过50HZ频率的振动由被动支架金属弹簧隔离。减震台的隔振弹簧在3个平东方向的固有频率是3-5HZ.由于实施反馈控制,减震台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7HZ.

下图1为250kg载荷情况下,有LMS测得的垂向传递率曲线。图中红色曲线代表开环传递率,绿色曲线表示反馈闭环传递率,绿色曲线表示反馈闭环传递率,蓝色曲线表示反馈加前馈闭环传递率。由蓝色曲线可知,在0.7HZ左右,传递率为0dB。在5-6HZ,传递率为15DB,在10HZ左右,传递率接近-40dB。

洁净室环境:

万级以上净化,环境噪声<65dB

测试工具:

LMS SCADASIII型数据采集系统,32通道输入模块,2通道 输出模块。LMS Test.lab数据分析系统;PCB型加速度传感器;GS速度传感器(经底频扩展)

测试方式:

将减震系统置于地基上用手推动工作平台观察洛伦兹电机,确定定子和动子之间无接触并合理调整气隙间距。开启速度控制环。由地基随机激振,用PCB型加速度传感器测试X,Y,Z方向的振动传递率,由LMS SCADASSIII进行数据采集,用LMS Test.lab进行数据分析,以确定共振点传递率和高频衰减率。

应用领域:

原子力显微镜(AFM),扫描隧道显微镜(STM),MEMS加工和测量设备,生物基因操作系统,光学实验,精密计量试验台等。


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